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正文 第362章 光刻机的事,是时候提上日程了,前往光电技术研究所!
    东芯电池的事,总算告一段落了。

    

    江辰靠在图书馆老位置的椅背上,长长地吐出一口气。

    

    唐若曦坐在他旁边,面前摊著一本《编译原理》,手里转著笔,眼睛却盯著他的侧脸。

    

    “老辰,你这几天是不是閒下来了”她问。

    

    “还行。”

    

    江辰闭著眼睛,“老赵那边基本不用我盯著了,拧德时代和比亚帝的代工產线也稳定了,第一批电池已经装车交付,后续就是按部就班爬產能。”

    

    “那你接下来打算干嘛”

    

    江辰睁开眼,坐直了身子。

    

    他看著天花板沉默了几秒,然后转过头,认真地看著唐若曦。

    

    “光刻机的事,是时候提上日程了。”

    

    唐若曦手里的笔停了。

    

    她当然知道他一直在谋划这件事,从之前在梅花洞水库边跟她提起的那天起,她就知道这一天迟早会来。

    

    “你打算怎么搞”

    

    江辰从背包里掏出一个厚厚的笔记本,翻到其中一页,上面密密麻麻画著一张树状图。

    

    唐若曦凑过去看了一眼……

    

    从“1n光刻机”这个根节点开始,分出三个粗壮的分支:极紫外光源、超高精度物镜系统、纳米级工件台。

    

    每个分支標註了“部分解决”,还有的標註了“待攻克”。

    

    “光刻机这玩意儿,说白了就是三个核心子系统。”

    

    江辰指著那张图,“光源,负责產生极紫外光,把电路图案『刻』到晶圆上。”

    

    “物镜系统,负责把掩模版上的图案缩小、聚焦、投射到晶圆表面,精度要求是亚纳米级別的。”

    

    “工件台,负责承载晶圆在曝光过程中做纳米级的精密运动。”

    

    “这三个东西,任何一个拎出来,都是工业皇冠上的明珠。”

    

    “全世界能独立搞定其中任何一个的国家,一只手数得过来。”

    

    “能同时搞定三个的,一个都没有……包括灯塔国。”

    

    他顿了顿,“但我们有。”

    

    唐若曦看著那张密密麻麻的树状图。

    

    她知道,这人一旦认真起来,就说明他已经有了至少七八成的把握,只是还没开始动手罢了。

    

    “光源部分。”

    

    江辰指著第一个分支,“极紫外光本质上是个高能物理问题……用高功率雷射轰击锡滴,產生等离子体,激发出13.5纳米波长的极紫外光。”

    

    “这玩意儿难在两个地方。”

    

    “一个是雷射器本身,需要超高功率的二氧化碳雷射器,单个脉衝能量要好几百毫焦,重复频率要好几十千赫兹。”

    

    “另一个是锡靶系统,锡滴的直径要控制在几十微米,发射频率要跟雷射脉衝精確同步,偏差不能超过几个微秒。”

    

    他翻到另一页,上面画著一个复杂的光路图。

    

    “电源系统我们已经解决了。”

    

    “东芯电池的能量密度和瞬时放电能力,比传统鋰电池强了不止一个数量级,用来驱动高功率雷射器绰绰有余。”

    

    “雷射器本身的核心技术,我之前刷东科院图书馆的时候,翻到过一套完整的极紫外光源设计方案……”

    

    “从增益介质到泵浦方式,从光学谐振腔到q开关,每一个细节都有。”

    

    “只要找到合適的代工厂,三个月之內可以做出原型机。”

    

    唐若曦安静地听著。

    

    她学的是计算机,对光学工程不算精通。

    

    但每次听他讲这些的时候,她都能感受到一种说不清的踏实感。

    

    他从不画大饼,也很少说“我试试”。

    

    而是会告诉你第一步怎么走,第二步怎么走。

    

    每一步的依据是什么,大概需要多长时间。

    

    “第二个,物镜系统。”

    

    江辰继续往下翻,“这是光刻机最核心、也是卡脖子最狠的部分。”

    

    “极紫外光波长短,穿透力极弱,连空气都穿不透,所以整个光路系统必须在真空中运行。”

    

    “不能用传统的透镜,只能用多层膜反射镜。”

    

    “这种反射镜的表面粗糙度必须控制在原子级別……零点几纳米的起伏都不能有。”

    

    “全球只有蔡司能做,而且限制出口。”

    

    “所以这部分我们得自己搞,没捷径。”

    

    “核心难点有两个:一个是反射镜的镀膜工艺,另一个是光学系统的装配精度。”

    

    “镀膜的事,我之前研究了一下,用离子束溅射沉积法可以搞定,关键参数我都算好了。”

    

    “装配精度的事,可以用我开发的一个ai模型来做自动校准,比人工装配的精度高两个数量级。”

    

    唐若曦听到这里,终於没忍住:“你连ai自动校准的模型都写好了”

    

    江辰点头,“之前写stelris框架的时候顺带写的,反正底层数学逻辑是一样的,顺手。”

    

    她沉默了片刻,然后笑了。

    

    “顺带写的別人搞个ai模型得发一篇顶会论文,你顺带写的。”

    

    “还行。”

    

    江辰面不改色,继续往下翻,

    

    “第三个,工件台,这部分反而是我们目前最有把握的。”

    

    唐若曦愣了一下,“为什么”

    

    “因为比亚帝。”

    

    江辰说,“比亚帝在精密製造方面有几十年的积累,他们的数控工具机、精密模具、自动化產线,都是国內顶尖水平。”

    

    “我之前跟王川福聊过,他说只要我们能拿出技术方案和设计图纸,他们可以在三个月內做出工件台的原型机。”

    

    唐若曦若有所思地点点头,

    

    “所以光源自己搞,物镜自己搞,工件台跟比亚帝合作。”

    

    “听起来好像......也不是特別难”

    

    江辰合上笔记本,靠在椅背上。

    

    “当然不难。”

    

    “只要配套工业基础跟得上,快则半年,慢则一年,第一台原型机就能下线。”

    

    唐若曦看著他,忽然笑了,“那你什么时候开始”

    

    “明天。”

    

    江辰站起来,把笔记本塞回背包,

    

    “今天先去吃饭,食堂红烧肉要没了。”

    

    两人並肩走出图书馆,夕阳把他们的影子拉得很长。

    

    陈小胖正抱著一摞书从对面走来,看到两人眼睛一亮,刚想打招呼。

    

    看到江辰手里那个鼓鼓囊囊的背包和唐若曦手里的笔记本,又默默把嘴闭上了。

    

    跟江神和嫂子擦肩而过之后,他掏出手机给李默发了条消息。

    

    “李默,江神好像又要搞事情了。”

    

    “你怎么知道”

    

    “他那个背包,装笔记本的那个格子,鼓得都快炸了。”

    

    “上次看到他背包鼓成这样,是在他写stelris之前。”

    

    “......那他可能又要创造一个奇蹟了,准备好花生瓜子矿泉水,坐等看戏。”

    

    第二天一早。

    

    江辰就去了东科院光电技术研究所。

    

    这家研究所位於燕京西北郊,是国內光学工程和精密製造领域的顶尖机构。

    

    江辰联繫了他在东科院的朋友……王圆院士,托他帮忙联繫了光电所的所长。

    

    光电所的所长姓曹,五十多岁,头髮微白,戴著厚厚的眼镜,一看就是那种在实验室里泡了几十年的老专家。

    

    曹所长早早就等在门口,看到江辰下车,快步迎上来握住他的手。

    

    “江院士,久仰久仰!“

    

    “您能来我们所里指导工作,我们全所上下都激动得不行!”

    

    江辰笑了笑,“曹所长客气了,我是来请教的。”

    

    曹所长连连摆手,“您这话说的,您那东芯电池和stelris框架,我们都研究过了……完全是划时代的技术!”

    

    “所里好几个搞光学计算的年轻人,现在全转去学您的stelris了,天天在实验室里跑模型,调参数,饭都不吃。”

    

    两人寒暄了几句。

    

    曹所长带著江辰走进研究所大楼。

    

    走廊两侧的实验室里,研究员们正在忙著各种实验。

    

    看到江辰进来,齐刷刷抬头,眼神里写满了“臥槽是江神”五个大字。

    

    一个戴眼镜的年轻工程师正蹲在光学平台旁边调光路,余光瞥见江辰,手里的螺丝刀差点掉地上。

    

    “江......江院士”

    

    江辰点点头,“你好。”

    

    那年轻工程师脸瞬间红了,憋了半天憋出一句:

    

    “江院士,我......我用了您的stelris框架,跑了一个光学设计模型,效率比以前用的商业软体快了好几倍!”

    

    “您那个框架,真的太牛逼了!”

    

    “不对,您是神!我......我能跟您合个影吗”

    

    江辰笑了,“行,等会儿。”

    

    曹所长领著江辰走进会议室,所里的几位核心专家已经等著了。

    

    ……
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