东芯电池的事,总算告一段落了。
江辰靠在图书馆老位置的椅背上,长长地吐出一口气。
唐若曦坐在他旁边,面前摊著一本《编译原理》,手里转著笔,眼睛却盯著他的侧脸。
“老辰,你这几天是不是閒下来了”她问。
“还行。”
江辰闭著眼睛,“老赵那边基本不用我盯著了,拧德时代和比亚帝的代工產线也稳定了,第一批电池已经装车交付,后续就是按部就班爬產能。”
“那你接下来打算干嘛”
江辰睁开眼,坐直了身子。
他看著天花板沉默了几秒,然后转过头,认真地看著唐若曦。
“光刻机的事,是时候提上日程了。”
唐若曦手里的笔停了。
她当然知道他一直在谋划这件事,从之前在梅花洞水库边跟她提起的那天起,她就知道这一天迟早会来。
“你打算怎么搞”
江辰从背包里掏出一个厚厚的笔记本,翻到其中一页,上面密密麻麻画著一张树状图。
唐若曦凑过去看了一眼……
从“1n光刻机”这个根节点开始,分出三个粗壮的分支:极紫外光源、超高精度物镜系统、纳米级工件台。
每个分支標註了“部分解决”,还有的標註了“待攻克”。
“光刻机这玩意儿,说白了就是三个核心子系统。”
江辰指著那张图,“光源,负责產生极紫外光,把电路图案『刻』到晶圆上。”
“物镜系统,负责把掩模版上的图案缩小、聚焦、投射到晶圆表面,精度要求是亚纳米级別的。”
“工件台,负责承载晶圆在曝光过程中做纳米级的精密运动。”
“这三个东西,任何一个拎出来,都是工业皇冠上的明珠。”
“全世界能独立搞定其中任何一个的国家,一只手数得过来。”
“能同时搞定三个的,一个都没有……包括灯塔国。”
他顿了顿,“但我们有。”
唐若曦看著那张密密麻麻的树状图。
她知道,这人一旦认真起来,就说明他已经有了至少七八成的把握,只是还没开始动手罢了。
“光源部分。”
江辰指著第一个分支,“极紫外光本质上是个高能物理问题……用高功率雷射轰击锡滴,產生等离子体,激发出13.5纳米波长的极紫外光。”
“这玩意儿难在两个地方。”
“一个是雷射器本身,需要超高功率的二氧化碳雷射器,单个脉衝能量要好几百毫焦,重复频率要好几十千赫兹。”
“另一个是锡靶系统,锡滴的直径要控制在几十微米,发射频率要跟雷射脉衝精確同步,偏差不能超过几个微秒。”
他翻到另一页,上面画著一个复杂的光路图。
“电源系统我们已经解决了。”
“东芯电池的能量密度和瞬时放电能力,比传统鋰电池强了不止一个数量级,用来驱动高功率雷射器绰绰有余。”
“雷射器本身的核心技术,我之前刷东科院图书馆的时候,翻到过一套完整的极紫外光源设计方案……”
“从增益介质到泵浦方式,从光学谐振腔到q开关,每一个细节都有。”
“只要找到合適的代工厂,三个月之內可以做出原型机。”
唐若曦安静地听著。
她学的是计算机,对光学工程不算精通。
但每次听他讲这些的时候,她都能感受到一种说不清的踏实感。
他从不画大饼,也很少说“我试试”。
而是会告诉你第一步怎么走,第二步怎么走。
每一步的依据是什么,大概需要多长时间。
“第二个,物镜系统。”
江辰继续往下翻,“这是光刻机最核心、也是卡脖子最狠的部分。”
“极紫外光波长短,穿透力极弱,连空气都穿不透,所以整个光路系统必须在真空中运行。”
“不能用传统的透镜,只能用多层膜反射镜。”
“这种反射镜的表面粗糙度必须控制在原子级別……零点几纳米的起伏都不能有。”
“全球只有蔡司能做,而且限制出口。”
“所以这部分我们得自己搞,没捷径。”
“核心难点有两个:一个是反射镜的镀膜工艺,另一个是光学系统的装配精度。”
“镀膜的事,我之前研究了一下,用离子束溅射沉积法可以搞定,关键参数我都算好了。”
“装配精度的事,可以用我开发的一个ai模型来做自动校准,比人工装配的精度高两个数量级。”
唐若曦听到这里,终於没忍住:“你连ai自动校准的模型都写好了”
江辰点头,“之前写stelris框架的时候顺带写的,反正底层数学逻辑是一样的,顺手。”
她沉默了片刻,然后笑了。
“顺带写的別人搞个ai模型得发一篇顶会论文,你顺带写的。”
“还行。”
江辰面不改色,继续往下翻,
“第三个,工件台,这部分反而是我们目前最有把握的。”
唐若曦愣了一下,“为什么”
“因为比亚帝。”
江辰说,“比亚帝在精密製造方面有几十年的积累,他们的数控工具机、精密模具、自动化產线,都是国內顶尖水平。”
“我之前跟王川福聊过,他说只要我们能拿出技术方案和设计图纸,他们可以在三个月內做出工件台的原型机。”
唐若曦若有所思地点点头,
“所以光源自己搞,物镜自己搞,工件台跟比亚帝合作。”
“听起来好像......也不是特別难”
江辰合上笔记本,靠在椅背上。
“当然不难。”
“只要配套工业基础跟得上,快则半年,慢则一年,第一台原型机就能下线。”
唐若曦看著他,忽然笑了,“那你什么时候开始”
“明天。”
江辰站起来,把笔记本塞回背包,
“今天先去吃饭,食堂红烧肉要没了。”
两人並肩走出图书馆,夕阳把他们的影子拉得很长。
陈小胖正抱著一摞书从对面走来,看到两人眼睛一亮,刚想打招呼。
看到江辰手里那个鼓鼓囊囊的背包和唐若曦手里的笔记本,又默默把嘴闭上了。
跟江神和嫂子擦肩而过之后,他掏出手机给李默发了条消息。
“李默,江神好像又要搞事情了。”
“你怎么知道”
“他那个背包,装笔记本的那个格子,鼓得都快炸了。”
“上次看到他背包鼓成这样,是在他写stelris之前。”
“......那他可能又要创造一个奇蹟了,准备好花生瓜子矿泉水,坐等看戏。”
第二天一早。
江辰就去了东科院光电技术研究所。
这家研究所位於燕京西北郊,是国內光学工程和精密製造领域的顶尖机构。
江辰联繫了他在东科院的朋友……王圆院士,托他帮忙联繫了光电所的所长。
光电所的所长姓曹,五十多岁,头髮微白,戴著厚厚的眼镜,一看就是那种在实验室里泡了几十年的老专家。
曹所长早早就等在门口,看到江辰下车,快步迎上来握住他的手。
“江院士,久仰久仰!“
“您能来我们所里指导工作,我们全所上下都激动得不行!”
江辰笑了笑,“曹所长客气了,我是来请教的。”
曹所长连连摆手,“您这话说的,您那东芯电池和stelris框架,我们都研究过了……完全是划时代的技术!”
“所里好几个搞光学计算的年轻人,现在全转去学您的stelris了,天天在实验室里跑模型,调参数,饭都不吃。”
两人寒暄了几句。
曹所长带著江辰走进研究所大楼。
走廊两侧的实验室里,研究员们正在忙著各种实验。
看到江辰进来,齐刷刷抬头,眼神里写满了“臥槽是江神”五个大字。
一个戴眼镜的年轻工程师正蹲在光学平台旁边调光路,余光瞥见江辰,手里的螺丝刀差点掉地上。
“江......江院士”
江辰点点头,“你好。”
那年轻工程师脸瞬间红了,憋了半天憋出一句:
“江院士,我......我用了您的stelris框架,跑了一个光学设计模型,效率比以前用的商业软体快了好几倍!”
“您那个框架,真的太牛逼了!”
“不对,您是神!我......我能跟您合个影吗”
江辰笑了,“行,等会儿。”
曹所长领著江辰走进会议室,所里的几位核心专家已经等著了。
……